一、背景概述

TCO薄膜是一類特殊材料和工藝的鍍膜，它主要應(yīng)用于平板顯示器和建筑兩大領(lǐng)域。與其他類型的導(dǎo)電薄膜相比，氧化物透明導(dǎo)電膜不僅導(dǎo)電性好，而且還像玻璃一樣具有高的透明性，所以，可以把它看作一種用途十分廣泛的特征功能薄膜。

這種氧化物透明導(dǎo)電薄膜用途十分廣泛，它的主要用途有：

• 顯示器件中的電極材料。

• 防靜電，防電磁屏蔽層。為了防止靜電，必須使方阻小于109Ω。

• 面發(fā)熱體。SnO2薄膜的電熱轉(zhuǎn)換效率在90%以上，通電后立即產(chǎn)生熱效應(yīng)。

• 熱反射膜。SnO2和ITO薄膜在紅外部分的反射率可達(dá)到80%以上。

• 太陽(yáng)能電池。(1) SIS異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池；(2) 太陽(yáng)能電池的減反射膜。

• 薄膜電阻器。

• 氣敏傳感器。現(xiàn)已能探測(cè)甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多種氣體和煙塵。

• 終端設(shè)備。用透明導(dǎo)電薄膜制作薄膜開(kāi)關(guān)。

• 汽車玻璃。

用FOTRIC熱像儀進(jìn)行測(cè)試（配備50μm微距鏡頭）

TCO薄膜的主要技術(shù)指標(biāo)有光譜透過(guò)率、導(dǎo)電性能、霧度以及激光刻蝕性能。其中，在薄膜電池的制作過(guò)程中，需要將表面劃分成多個(gè)長(zhǎng)條狀的電池組，這些電池組被串聯(lián)起來(lái)用以提高輸出能效。因此，TCO玻璃在鍍半導(dǎo)體膜之前，必須要對(duì)表面的導(dǎo)電膜進(jìn)行刻劃，被刻蝕掉的部分必須完全除去氧化物導(dǎo)電膜層，以保持絕緣。刻蝕方法目前有化學(xué)刻蝕和激光刻蝕兩種，但由于刻蝕的線條要求很細(xì)，一般為幾十微米的寬度，而激光刻蝕具有溝槽均勻，剔除干凈，生產(chǎn)效率快的特點(diǎn)。

二、客戶需要解決什么問(wèn)題

•  研發(fā)人員需要驗(yàn)證這類薄膜的印刷質(zhì)量和刻蝕工藝

• 是否存在斷裂、粘連等問(wèn)題

其中白框內(nèi)兩線間距為50微米

三、當(dāng)前有哪些解決方案及其弊端

對(duì)TCO薄膜通電，測(cè)試刻蝕質(zhì)量。采用測(cè)試溫度的方式測(cè)量，如果出現(xiàn)粘連或斷裂會(huì)出現(xiàn)不同的溫度變化。

熱電偶與數(shù)采

• 使用熱電偶測(cè)溫準(zhǔn)確，但是由于電池組較細(xì)，而且間距只有50微米寬，沒(méi)有辦法很好的粘貼

• 熱線偶可能會(huì)導(dǎo)致通電時(shí)電路

• 只能測(cè)量點(diǎn)或幾個(gè)點(diǎn)的溫度，沒(méi)有辦法找到整個(gè)薄膜上刻蝕的線斷裂部位或短路部位

• 破壞了器件本身的熱場(chǎng)分布，尤其是小尺寸元器件；

• 熱電偶有溫度慣性，采集的溫度和實(shí)際溫度有滯后。

紅外測(cè)溫槍

• 紅外測(cè)溫槍使用方便，但問(wèn)題也很多：

• 沒(méi)有辦法精確找到測(cè)量的部位，不能同時(shí)測(cè)試多個(gè)點(diǎn)；

• 不能直觀看到問(wèn)題點(diǎn)；

• 被測(cè)部位很小，溫度會(huì)被平均。

四、產(chǎn)品如何幫助客戶解決該問(wèn)題及優(yōu)勢(shì)

• 對(duì)TCO薄膜通電，然后采用Fotric 226搭配50微米微距鏡觀看溫度變化，如果出現(xiàn)粘連可以看到高溫點(diǎn)，如果出現(xiàn)斷裂會(huì)有線路溫度較低。

• FOTRIC科研熱像儀單張熱像圖即采集110592個(gè)溫度值，可以直觀看到問(wèn)題點(diǎn)，高效率無(wú)盲區(qū)的查找問(wèn)題。

• FOTRIC科研熱像儀可連接電腦，配合AnalyzIR專業(yè)軟件變身為在線熱像儀，而且搭配Fotric B1實(shí)驗(yàn)臺(tái)測(cè)溫更穩(wěn)定。